Edwards 愛(ài)德華IXH1210干式真空泵維修保養(yǎng)Edwards愛(ài)德華***干式半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和xing能。? edwards iXH 系列干泵產(chǎn)品是 Edwards 的市場(chǎng) iH 產(chǎn)品的換代升級(jí)，為嚴(yán)苛制程能力 樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)，它在世界上的許多 300mm 半導(dǎo)體和平板 工廠內(nèi)通過(guò)提高制程可靠xing實(shí)現(xiàn)低擁有成本?？蓾M足 FPD、太陽(yáng)能、 半導(dǎo)體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴(yán)苛制程中具有大可靠xing。? Edwards 愛(ài)德華IXH1210干式真空泵維修保養(yǎng)Edwards愛(ài)德華IXH系列半導(dǎo)體干式真空泵產(chǎn)品型號(hào)：IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、?iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,愛(ài)德華IXH系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)